Prednosti:
Ta serija črpalk dobro deluje pri težkih okoljskih pogojih (visoka temperatura, prah itd.), Stabilna je v delovanju in ima dolgo življenjsko dobo ter preprosto vzdrževanje in priročno delovanje.
Aplikacije:
Glavne aplikacije so v industrijskem odkrivanju puščanja, PVD, CVD, ionski implantaciji, proizvodnji vakuumskih elektronskih komponent, steklu z nizko vsebnostjo E, steklu ITO, optičnem premazu, sončnih celicah, varjenju z elektronskim žarkom, vakuumski peči in drugi industriji
Specifikacije:
Prirobnica (V) | DN400 ISO-K | Plin po vsem (sccm) | N2: 5500 |
Prirobnica (Izhod) KF | DN100 | On: 4000 | |
Hitrost črpanja (L/s) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
On: 2650 | Ar: 2100 | ||
H2: 1280 | Hitrost vrtenja (rpm) | 13500 | |
Ar: 3200 | Čas zagona (min) | ≤18 | |
Kompresijsko razmerje | N2: 108 | Tip hlajenja, standardno | Voda |
On: 103 | Poraba hladilne vode (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Temperatura hladilne vode (℃) | ≤25 | |
Ar: 108 | Napajanje: Napetost (V AC) | DC24/AC220 | |
Najvišji tlak (Pa) | 6 × 10-6 | Največja poraba energije, W) | ≤1100 |
Maks. Neprekinjen tlak v vakuumu (Pa) | 100 | Model krmilnika | FD-III |
Maks. Pred vakuumski tlak | N2: 300 | Teža (kg) | 130 |